M-小型组合式真空发生器是用单个的真空发生器组成整体的真空系统,每一个真空发生器都是一个单独的多级发生器。每一个真空发生器都能组成一个多种形式的真空系统。这种结构的优势是它能仅用一个控制阀控制,同时每条真空线路间保持彼此影响。所以如果一个吸盘出现泄露或是表面缺陷造成真空度下降,其他吸盘的真空度不会受到影响。根据不同的要求真空发生器可以组合成2-16组的真空系统,这样真空发生器的密封垫有氟橡胶和三元乙丙橡胶可以适于用有腐蚀性和酸性的环境。